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下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット
『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット
『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
